X-ray Photoelectron Spectroscopy (In-house XPS, Depth Profiling)
X光光電子能譜(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS)又稱化學分析電子能譜(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA)，獲得的訊號是由光電效應所產生。原理是當X光照射在樣品時將會激發原子內層的電子將其游離成光電子，分析光電子可以得知樣品表面的元素組成，進而判斷樣品實驗式、化學鍵等資訊。
樣品準備注意事項
1. 樣品不得具有磁性、毒性、輻射性。
2. 樣品需自行處理乾性，不得在真空下有揮發性物質放出。
3. 請於樣品背面標註樣品編號，以利分辨正反面。
4. 粉體樣品需壓成錠狀或片狀，不厚於1mm，或是塗抹在導電基板或碳膠帶/銅膠帶上。
5. 塊材樣品高度不得超過2mm，最佳面積為5mm×5 mm 。
(因樣品載台大小為20mm×50mm，且每個樣品固定還需要預留空間貼碳膠帶，如樣品面積太大，一次可送入分析腔內的樣品數會受限。)
儀器資訊規格
廠牌/型號: 英國Thermo VG-Scientific / Sigma Probe
重要規格：
偵測極限0.1 atomic percent
X-ray spot size: 15 μm ~400 μm
X-ray source: Al K-alpha 1486.6 eV
UV soure: He I (0~21.2eV)