碳化矽(SiC)晶錠晶圓應力缺陷檢測儀

在非破壞檢測條件下，高速量測碳化矽晶錠及晶圓之取向、應力及缺陷等資訊，無需使用破壞性KOH蝕刻技術，節省支出並提高產出率。