General SEM Analysis
掃描式電子顯微鏡-為您提供不簡單的表面功夫
掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)能夠拍攝樣品表面高解析度圖像以及近表面的景深圖像，作為表面分析最廣泛的工具之一，SEM能夠在短時間內拍攝出清晰的影像。由高壓電場激發電子槍燈絲中的電子，射出後的電子經由強電場加速到目標電壓，經過電磁透鏡過濾需要的能量並且聚焦電子束，再由電磁線圈控制電子束的照射位置，經由逐步的移動電子束掃描樣品表面而獲取各個點的二次電子訊號，重新構築成線、面的圖像。
不同倍率，不同需求
放大倍率從數十倍至百萬倍
針對於樣本的不同部位進行針對性的量測
提供在掃描平面一定深淺距離內的景深影像
多元量測
層狀材料以及薄膜材的厚度以及堆疊方式也能清晰可見
儀器資訊
型號: Carl Zeiss Sigma 300
解析度: 1.3 nm @ 20keV；3.0 nm @ 1keV
放大倍率: 12x - 1000kx
電子束能量: 0.5keV - 30keV
樣品限制條件: 必須乾燥且無揮發性